Hiden Analytical
«ИНТЕК Аналитика» является
официальным представителем компании Hiden
Analytical на территории России и стран СНГ. Мы
осуществляем поставку, пуско-наладку,
гарантийное и послегарантийное обслуживание.
Предлагаем Вашему вниманию квадрупольные
масс-спектрометры для прецизионного анализа
в диагностике вакуума HIDEN RGA SERIES.
HIDEN RGA SERIES
Квадрупольные масс-спектрометры
В серию RGA входит оборудование трех направлений:
HALO - Для анализа остаточных газов.
- Возможность измерять диапазон масс 200 и 300 а. е. м., и парциальное давление до 2х10-13 мБар.
- Вакуумный снимок – сравнение и анализ остаточных газов и газовой фазы в вакуумных камерах. Для контроля состояния технологической камеры.
- Анализ трендов – Наблюдение парциальных давлений различных газов в реальном времени.
- Течеискатели – Газоанализаторы остаточных газов Hiden имеют превосходную чувствительность по гелию.
3F - Квадруполь с тремя фильтрами для прецизионного анализа газов и научного применения.
- Возможность измерять диапазон масс 300 и 510 а. е. м. и парциальное давление до 2х10-14 мБар
- 3F технология с тремя фильтрами позволила расширить исследуемый диапазон масс, и разрешающую способность по массе, повысить чувствительность по тяжелым частицам, улучшить стойкость к загрязнению
3F – PIC Квадруполь с тремя фильтрами и счетным детектором ионов для изучения быстрых процессов.
- Возможность измерять диапазон масс 300 и 510 а. е. м. и парциальное давление до 5х10-15 мБар.
- Детектор ионов обеспечивает 7 порядков непрерывного динамического диапазона с возможностью аналитического расширения до 12 порядков.
Особенности серии RGA:
- Программное управление MASsoft через RS232, RS485 или распределенная система через локальную сеть Ethernet
- Быстрый доступ к гистограммам, анализу трендов и отображению пиков в аналоговом режиме
- Смешанный режим сканирования, т.е., размещение гистограмм, трендов и аналоговых пиков в различных окнах
- Непрерывное отображение в реальном времени анализа данных в графической и табличной форме
- Простое наведение курсоров мышью при идентификации амплитуды пиков
- Вычитание фона в реальном времени, автоматическое масштабирование массового диапазона
- Поддержка экспорта данных в формате ASCII и во все WindowsTM приложения
- Поддержка Dynamic Data Exchange для передачи данных в реальном времени другим приложениям-клиентам DDE Windows™, например, программам статистической обработки данных Excel, SPC-IV
Встроенные режимы работы серии RGA:
- Система включает в себя предустановленные процедуры для анализа течей и трендов, получения гистограмм и профилей пиков.
- Построение гистограмм спектров в любой области диапазона масс.
- Режим сканирования профилей масс с шагом до 0.01 а. е. м. на любом
выбранном пользователем диапазоне масс.
- Вычитание фона, а также вычитание заданного спектра в реальном времени.
- Вычитание фона доступно в построении гистограмм, анализе трендов, режиме
поиска течи и получении профилей пиков.
- Анализ трендов с возможностью вывода в реальном времени интенсивности
пиков от времени в табличном и графическом виде одновременно. Может быть
запрограммировано до 100 массовых каналов.
- Каждый массовый канал при анализе трендов может иметь свои настройки
масс-спектрометра для оптимизации данных по каждому газу.
- При анализе трендов каналы автоматически задаются простым выбором
названий частиц, из встроенной библиотеки. Также каналы могут быть заданы
вручную вводом необходимого массового числа и названия.
- Интерфейс программы управления и динамических данных совместим с
приложениями Windows™
- Режим картографирования интенсивности ионов от параметров источника.
Опция управления источником ионов обязательна.
- Сканирование интенсивности от энергии электронов. Позволяет разделить
появление одинаковых радикалов от разных молекул. Опция управления
источником ионов обязательна.
- Смешанный режим сканирования. Редактируемый процесс сканирования
позволяет настроить сбор данных и их одновременный вывод в различных
окнах анализа трендов, профилей пиков, гистограмм.
- Автоматическая и диалоговая настройки всех параметров ионного источника.
Опция управления источником ионов обязательна.
- Обзор и сравнение исторических данных синхронно с получаемыми данными в
реальном времени.
- Экспорт данных в файлы, поддерживающие ASCII формат, и на Windows
совместимые устройства вывода.
- Встроенные обработчики событий позволяют пользователю редактировать
интерфейс передачи данных к другим интегрированным подсистемам.
|








|