Чистые газы Генераторы фтора

Компания Edwards предлагает, полностью готовые к применению на месте генераторы фтора для полупроводниковой промышленности серии Generation - F. А также производит генераторы фтора для промышленных применений в химической и смежных отраслях промышленности. Генераторы фтора компании Edwards спроектированы с возможностью снабжения нескольких потребителей от одного источника. Компоновка системы для производства фтора выполняется в соответствии с требованиями, либо возможностями Заказчика.

   Для функционирования системы по производству фтора потребуется комплекс из пяти необходимых элементов:

1. Стойка подачи фтороводорода HF

2. Генератор фтора.

3. Буфер

4. Скруббер

5. Газовые коммуникации (коллектор и резервуары для сбора очищенных газов F₂, H₂ и HF )

1. СТОЙКА ПОДАЧИ ФТОРОВОДОРОДА HF

   Конструкция стойки предусматривает отслеживание теплоты фтороводорода по всей длине колонны и обеспечивает подачу рабочего газа к генератору фтора. Качество готового продукта в большей степени зависит от качества исходного сырья, которым является HF.

   В Таблице 1 приведена спецификация электролитического фтороводорода HF (N3.0), обычно являющимся исходным сырьем для генераторов фтора серии Generation - F . В случае потребностей Заказчика в промышленном фторе, качество исходного сырья может отличаться от приведенных показателей.

Таблица №1

2. ГЕНЕРАТОР ФТОРА

   Компания BOC EDWARDS в качестве базовых моделей предлагает два генератора фтора – Generation - F 80 и Generation - F 400. Но, также, готова спроектировать и произвести любой другой генератор, в строгом соответствии требованиям Заказчика и международным стандартам качества.

• Модель Generation - F80 рассчитана на производство 1,5 тонн электронного чистого фтора в год. Производительность модели Generation - F400 составляет 5 тонн продукта в год. При больших потребностях фтора генераторы могут объединены параллельной для совместной работы.
• В Таблице 2 приведена спецификация получаемого фтора F₂ электронной чистоты (N3.5). По требованию Заказчика генераторы фтора серии Generation - F могут быть переоборудованы для производства фтора различной чистоты.
• Все генераторы фтора компании Edwards поставляются с первичным очистителем. Сменный картридж для очистки рассчитан на 6 месяцев непрерывной работы генератора фтора на полную мощность.
• Генераторы фтора серии Generation - F изготавливаются в соответствии высоким требованиям и стандартам безопасности SEMI S 2-0200, SEMI S 8-95 (Semiconductor Equipment and Materials International) и поставляется с паспортом CE Marking (European Conformity), если иное не оговорено в требованиях Заказчика.

Таблица №2

   Для выбора компоновки используйте описание и технические характеристики на основе стандартных высокотехнологических систем для производства фтора серии Generation - F.

3. БУФЕР

   Компания Edwards предлагает Буфер собственной разработки, тип S1000. В процессе эксплуатации генератора фтора могут возникать ситуации, требующие работы системы с превышающем штатный режим уровнем выработки фтора, а также ситуации выхода из строя штатных емкостей для хранения. Буфер представляет собой байпасный объем со встроенной системой утилизации газа, на случай аварийного или вынужденного выброса фтора. S1000 рассчитан на работу с пиковой, до 10-15 раз выше нормы, скоростью подачи фтора и позволяет сгладить поток фтора, поступающего затем на технологические нужды.

  Буфер может поставляться в качестве опции системы для производства фтора. Решение об установке Буфера принимается исходя из особенностей технологического процесса и планируемого режима эксплуатации генератора. Заказчик может самостоятельно определить необходимость использования S1000 в условиях собственного производства, а также получить рекомендации разработчика оборудования, указав соответствующие данные в Опросном Листе.

4. СКРУББЕР

  Скруббер устанавливается на выходе системы для производства фтора и предусматривает коммуникации со всеми элементами комплекса, включая: стойку подачи HF, генератор F₂, Буфер и Коллектор газов. В зависимости от доступных на территории Заказчика инженерных коммуникаций, скруббер может быть выполнен для мокрой или сухой очистки.

   Поскольку, на действующем производстве, в большинстве случаев, имеется устройство очистки выхлопных газов, Заказчик может самостоятельно определить необходимость установки нового скруббера компании BOC EDWARDS, а также получить рекомендации разработчика оборудования, указав соответствующие данные в Опросном Листе.

5. ГАЗОВЫЕ КОММУНИКАЦИИ

   Состав газовых коммуникаций представляет собой набор необходимых трубопроводов, уплотнений, коллекторов, системы запорной арматуры и газовых детекторов, от работы которых, не в последнюю очередь, зависит корректное функционирование системы в целом.

   Газопроводная арматура изготавливается из нержавеющей стали в защитной оболочке с двойными стенками. Специально разработанные для эксплуатации в агрессивной атмосфере клапана обеспечивают высокий уровень безопасности и защиты от протечек и выбросов.

   Разработчик оборудования берет на себя все работы по проектированию и производству компонентов газовых коммуникаций. В случае специального соглашения с разработчиком оборудования, Заказчик может изготовить данные элементы системы самостоятельно или разместить заказ на их изготовление у другого производителя, следуя рекомендациям и качественным требованиям компании BOC EDWARDS.

Опросный Лист на проектирование системы для производства фтора (0,3 Мб)