iH1800 и iH160 были введены в состав серии насосов iH для обеспечения возможности высокоскоростной откачки, требующейся для процессов обработки 300 мм полупроводниковых пластин, а также производства плоских дисплеев. Эти насосы обеспечивают пиковые скорости откачки 1800 м³/ч и 160 м³/ч соответственно. Также, как и остальные насосы серии iH, эти новые изделия обеспечивают гарантированную высокую надежность и низкие эксплуатационные затраты для процессов со сложными условиями, таких как травление, PECVD и LPCVD, в которых присутствуют побочные продукты, склонные к конденсации, а также коррозионно активные продукты и продукты, содержащие частицы.

Этот насос является оптимальным решением для жестких требований процесса откачки шлюзов установок по производству плоских дисплеев. Этот насос, созданный в соответствии со стандартами гарантированного качества и надежности продукции BOC Edwards, характеризуется улучшенными откачными характеристиками, способностью обеспечивать более короткую продолжительность циклов загрузки-выгрузки и, соответственно, увеличение пропускной способности технологического оборудования.

Особенности и преимущества:
• быстрая откачка шлюза экономит жизненно важные секунды;
• высокая надежность в оборудовании, требующем частого повторения рабочего цикла;
• интерфейсы, доступные для любого технологического оборудования.

Серия iL разработана специально для процессов, требующих высокой чистоты, позволяя обеспечить низкие эксплуатационные затраты и исключительную надежность, не требуя периодического обслуживания между переборками. Их тихая работа, малые габариты и высокие скорости откачки делают их идеально пригодными для шлюзов, транспортных камер, процессов PVD, электронной микроскопии (SEM) и других подобных задач. Варианты iLN имеют уплотнение шпинделя, продуваемое азотом и предназначены для применений с небольшой эксплуатационной нагрузкой, таких, как травление диэлектриков.

Особенности и преимущества:

• низкие эксплуатационные расходы при отсутствии азота (iL), низкой мощности и небольшом расходе охлаждающей воды;
• компактная эффективная конструкция с небольшими габаритами и высокими скоростями откачки;
• высокая надежность, и, следовательно, малые расходы на обслуживание;
• соответствует требованиям CE, SEMI S2, UL, а также корейскому S Mark.

L70 — простой недорогой безмасляный насос, специально разработанный для чистых загрузочных шлюзов и других подобных областей использования.

Особенности и преимущества:

• низкие эксплуатационные затраты при отсутствии азота, малом потреблении электроэнергии и охлаждающей воды;
• простота управления.

TPU является промышленным стандартом для процессов CVD. Одна модель подходит для всех CVD и многих процессов травления. Каждый вход может быть сконфигурирован для обеспечения высокого уровня очистки ото всех перфторуглеродных газов, вызывающих глобальное потепление, фтора, ClF3. TPU может работать со входными потоками до 280 ст. л/мин.

BOC Edwards предлагает ряд недорогих безжидкостных систем очистки для использования непосредственно на технологических установках обработки полупроводников. Каждая из методик использует уникальную технологию реактора с горячей поверхностью, разработанную для установок GRC (с газовыми реакционными колоннами).

Inline 250 — самая эффективная из всех установок безжидкостной очистки для очистки выбросов процессов травления. Она обеспечивает химическую переработку широчайшего диапазона газов от галогенов и кислот до ClF3, NF3, SF6 и других галогенных травителей до устойчивых инертных солей. Сдвоенная газовая реакционная колонна D150 обеспечивает работу с двумя сменными модулями, минимизируя, таким образом, эксплуатационные затраты за счет возможности непрерывной работы.

Одинарная газовая реакционная колонна М150 является компактной безжидкостной системой обработки газов для удаления опасных выбросов процессов травления и CVD на месте образования, преобразуя их в безопасные твердые вещества, заключенные в легко сменяемом и утилизируемом сменном модуле.

BOC Edwards предлагает водоабсорбционные скрубберы, а также скрубберы с химическими реагентами для использования непосредственно на месте выделения перерабатываемых выбросов. Системы пригодны для переработки отходящих газовых потоков, содержащих растворимые в воде, а также реагирующие с водой газы.

Водные скрубберы для камер обработки пригодны для травления металлов, травления полимеров, осаждения нитридов в процессах LPCVD и PECVD, а также эпитаксии. Водные скрубберы со влажной реакционной средой пригодны для установок с распылением кислот.

PCS является прогрессивным решением проблемы снижения концентрации силана и пирофорных газов до уровня менее нижнего концентрационного предела взрываемости (LEL).

Будучи специально разработанной для безопасного обращения с силаном, PCS включает в себя уникальную систему обработки частиц, обеспечивающую отсутствие порошков в каналах.

Вакуумное оборудование традиционно устанавливается бок о бок с системами утилизации выбросов в пространстве под технологической установкой. В настоящее время, серия Zenith содержит набор полностью комбинированных вакуумных откачных систем и систем утилизации выбросов, ориентированных на конкретный технологический процесс.

Эти системы разработаны так, чтобы безопасно перерабатывать выбросы широкого спектра технологических процессов. Повышенная безопасность, совместимость с технологическим оборудованием, минимальные габариты и сниженные эксплуатационные затраты являются основными выгодами, приносимыми нашим уникальным подходом, который позволяет снизить время подготовки, увеличить эффективность и рентабильность процесса .

BOC Edwards предлагает TMS (систему управления температурой) для процессов, в которых имеются конденсирующиеся твердые продукты. TMS гарантирует сохранение этими соединениями летучего состояния до момента попадания в устройство очистки. Конструкция TMS обеспечивает нагрев как форвакуумных линий, так и выхлопных линий насоса до входа устройства очистки.

Профильные нагреватели с развитой поверхностью обеспечивают наилучший контакт с трубопроводами и сконструированы таким образом, чтобы поддерживать температуру трубы в интервале 90° и 150 °C. В качестве дополнительной опции, имеется возможность отслеживания состояния TMS для обеспечения как местной, так и удаленной проверки достаточности температуры линии.

TMS была успешно использована в сочетании со всем оборудованием утилизации выбросов BOC Edwards для снижения остроты проблем, исторически связанных с твердотельным осаждением.

• Малогабаритные насосы и откачные системы
• Турбомолекулярные насосы и контроллеры
• Вакуумные измерение, контроль и управление
• Вакуумные клапаны, затворы, натекатели
• Вакуумная арматура, вакуумные масла и смазки
• Промышленные насосы и агрегаты
• Технологические системы
• Вакуумные воздуходувки и компрессоры
• Установки вакуумной сушки
• Диффузионные насосы для научного и промышленного применения, для откачки кинескопов
• Насосы и откачные системы для химической промышленности
• Насосы для полупроводниковой промышленности и системы нейтрализации технологических газов
• Чистые газы. Генератор фтора
• Установки для нанесения тонких пленок
• Криогенные вакуумные насосы, криоголовки, вымораживатели паров воды
• Ионные и ионно-сорбционные насосы
• Масс-спектрометрические и тепловые течеискатели